1、局部排風
各種電子產品生產過程不可避免地將會有各類粉塵、有害氣體、有害物質的排出，防止它們在潔凈室內擴散、污染的有效方法是在相關設備處采取局部排風方式經處理達標后排至室外。對于如下情況的局排系統應獨立設置。
（1）排風介質混合后能產生加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性；
（2）排風介質中有毒與無毒，毒性相差很大；
（3）易燃、易爆與一般排風；
（4）潔凈室的排風系統設計時，應采取下列技術措施。
為防止室外的氣流倒灌流入室內，引起污染和積塵，常用防倒灌措施：設置中效過濾器；采用止回閥，使用方便但密封性較差；采用密閉閥、密封性好，但結構復雜；采用自控裝置等。
（1）含有易燃、易爆局部排風系統應采用與排出物質相適應的防火、防爆措施；
（2）排風介質中有害濃度及排放量超過國家或地區有害物排放濃度及排放量規定時應進行無害化處理，達標后才能排入大氣；
（3）對含有水蒸汽和凝結性物質的排風系統，應設坡度及排放口，以即時排除凝結液。
潔凈廠房內的換鞋、存外衣、盥洗、廁所和沐浴等生產輔助房間，應采取通風措施，其室內的靜壓值，應低于潔凈區。
潔凈室應根據生產工藝要求設置事故排風系統。事故排風系統應設自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設在潔凈室及潔凈室外便于操作的地點。一般對于有可能散發有害氣體或易燃易爆氣體的潔凈室（區）應設事故排風裝置。
排風系統的設備、管道和附件的制作材料、保溫材料、涂料，應根據排出的氣體性質、狀態等條件選用合適的材質，通常應符合下列要求。
（1）排風系統的風管應采用不燃材料。這里所指的不燃材料是各種類型的金屬板材，包括碳鋼、不銹鋼、有色金屬板材，具有選用應按排氣的性質確定；
（2）排除腐蝕性氣體的風管，應采用耐腐蝕的難燒材料。這里所指的難燒材料主要是氧指數等于大于32的玻璃鋼等；
（3）附件、保溫材料、消聲材料和涂料等均采用不燃材料或難燃材料。這里所指的不燃材料主要是巖棉、玻璃棉等；難燃材料主要是氧指數大于等于32的橡塑海綿、聚氨脂等。
2、潔凈室的防排煙設計
潔凈廠房是密閉無窗或設固定窗的房間，設置防排煙系統是確保人員疏散的必要方法之一。在《潔凈廠房設計規定》（GB50073-2001）第6.5.7條中規定：潔凈廠房疏散走廊，應設置機械防排煙設施?，F摘錄《建筑設計防火規范》的修訂稿草案中的有關規定，供參考。排煙量的確定，設置機械排煙設施的場所，其排煙風機的排煙量，當擔負一個防煙區排煙時，應不小于60m3/h/m2計算排煙量；擔負兩個或兩個以上防煙分區的排煙系統時，應按zui大的防煙分區的面積不小于120 m3/h/m2計算排煙量。單臺排煙風機的zui小排煙量不應小于7200 m3/h。排煙風機的選型，排煙風機可采用離心機或排煙風機，風量應考慮10%—20%的漏風量，風壓應滿足排煙系統zui不利環路的要求。在風機入口總管上，設置當煙氣溫度超過280℃能自動關閉的防火閥，且應與排煙風機連鎖。
排煙口的設置，排煙口或排煙閥應設置在頂棚內的墻面上，且與鄰近安全出口相鄰邊緣之間的水平距離不應小于1.5m，距可燃物體的距離不應小于1.0m；排煙口或排煙閥平時應關閉，并應設手動或自動開啟裝置，排煙口與該防煙分區內zui遠的水平距離不應超過300m。